如上所述，超声清洗的主要作用机理是超声空化作用，存在于液体中的微声场的作用下振动，当声压达到一定值时，气泡将迅速增长，然后突然闭合，在气泡冲击波，在其周围产生上千个大气压的压力，破坏不溶性污物而使它们分散在清洗型空化对污层的直接反复冲击，一方面破坏污物与清洗件表面的吸附；另一方面也层的劳破坏而与工件表面脱离。气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗结，气泡还能钻入裂缝中作振动，使污层脱落。由于超声空化作用，两种液体在界面迅数而乳化，当固体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时，油被乳化，固体粒子即行脱空化气泡在振荡过程中，将伴随着一系列二阶现象发生，如辐射扭力。

在均匀液体中扭力作用于液体本身，从而导致液体本身的环流，即称之为声流。这个声流可达到厘米量级较大的范围，也可限于微米量级较小的范围内。后者常被称为微声流，它可使脉动气泡表面处在很高的速度梯度和粘滞应力，这种应力有时高达1000dm/m2以上，足以对工件表面污物造成破坏而使其脱落。超声空化在固体和液体界面上所产生的高速微射流能够除去或边界污层，增加搅拌作用，加速可溶性污物的溶解，强化化学清洗剂的清洗作用。在强调声化与声流对清洗的主要贡献的同时，还不应忽略清洗液超声振动本身对贡献。例如20kHz,2W/m2的超声波在清洗液中传播时，它将引起质点的振动位移幅度为1.32m、速度为0.16m/s、加速度为2.04×104m/s2(约为2000g，g为重力加速度)声压为2.45×105Pa(2.45atm)。这表明，工件表面的污物层每秒将遭受到清洗液2万次从正2。大气压到负2.45大气压激烈的冲击。这是对行波场计算的结果，事实上，在清洗槽中更接近于混响场，可能使这一过程更为激烈,这样LCD液晶显示屏才能被清洗得干净。