涂胶
2017/7/28 14:29:54 点击:
涂胶简介如下:
涂胶效果控制好坏直接影响光刻质量,因此在操作时应将光刻胶按要求准备好,并控制好光刻胶的涂层厚度及均匀性,涂层表面状态等.
光刻胶一般是在低温避光条件下储存,因此在使用光刻胶前一定先把胶从低温条件下取出,在使用场地放置至瓶内胶的温度与环境温度相同时才能打开瓶盖,胶在使用前要对其粘度进行测试.因为胶粘度高时,涂层厚抗蚀性虽然提高,但分辩率下降而胶粘度低进,分辨率能提高,但抗蚀性较差,LCD液晶屏出现缺画比例增加,
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